Isolatori ceramici fresati a 5 assi per apparecchiature a semiconduttore e camere bianche

Nel mondo ad alto rischio della produzione di semiconduttori e degli ambienti di camere bianche, ogni componente deve offrire prestazioni impeccabili.PFT, siamo specializzati nella lavorazione artigianaleIsolatori ceramici fresati a 5 assiche ridefiniscono precisione e affidabilità. Con oltre 20Grazie ad anni di esperienza, le nostre soluzioni sono progettate per soddisfare le rigorose esigenze delle apparecchiature a semiconduttore, garantendo stabilità termica, isolamento elettrico e funzionamento senza contaminazione in ambienti estremamente sensibili.

Perché scegliere i nostri isolatori ceramici fresati a 5 assi?

1.Capacità di produzione avanzate

La nostra struttura è dotata difresatrici CNC a 5 assi all'avanguardia, consentendo una precisione micrometrica nella modellazione di ceramiche avanzate come allumina (Al₂O₃), carburo di silicio (SiC) e nitruro di alluminio (AlN). A differenza dei metodi convenzionali, la lavorazione a 5 assi consente geometrie complesse, fondamentali per componenti come perni di sollevamento dei wafer, parti della camera di deposizione e isolanti resistenti al plasma.

Caratteristiche principali:

•Precisione:Tolleranza di ±0,005 mm per una perfetta integrazione negli strumenti litografici ASML o nei sistemi di incisione Lam Research.
•Versatilità dei materiali:Ottimizzato per allumina al 99,8%, SiC ad alta purezza e altre ceramiche avanzate.
•Finitura superficiale:Ra <0,2μm per ridurre al minimo la generazione di particolato nelle camere bianche ISO Classe 1.

2.Ingegneria di processo proprietaria

I nostri ingegneri hanno sviluppatocontrolli di processo a circuito chiusoche si adattano alla fragilità della ceramica durante la lavorazione. Combinando tecniche di fresatura a secco con lo smorzamento delle vibrazioni in tempo reale, otteniamo superfici prive di crepe e una maggiore durata dei componenti, anche in condizioni di cicli termici estremi (fino a 1.600 °C).

Innovazione in primo piano:

•Protocolli antistress:Ridurre al minimo le microfratture negli isolanti AlN per applicazioni CVD.
•Trattamenti post-lavorazione:La pressatura isostatica a caldo (HIP) aumenta la densità e la resistenza alla corrosione.

3.Rigorosa garanzia di qualità

Ogni isolante subisceispezione in 12 fasi, tra cui:

•CMM (Macchina di misura a coordinate)convalida delle dimensioni critiche.
•Test di perdita di elioper la compatibilità con il vuoto.
•EDS (spettroscopia a raggi X a dispersione di energia)per verificare la purezza del materiale.

NostroSistema certificato ISO 9001/14001garantisce la tracciabilità dall'approvvigionamento delle materie prime (provenienti da fornitori di primo livello come CoorsTek) fino al confezionamento finale.

Applicazioni: dove la precisione incontra le prestazioni

I nostri isolatori sono affidabili:

•Strumenti per incisione e deposizione:Componenti rivestiti in SiC per la resistenza al plasma nei moduli Applied Materials™.
•Impianti ionici:Perni di sollevamento in allumina con rivestimenti antistatici per impedire lo slittamento dei wafer.
•Sistemi di metrologia:Isolanti a bassa dilatazione termica per stadi di litografia EUV.

Caso di studio:Un importante produttore OEM di semiconduttori ha ridotto i tempi di fermo degli utensili del 40% dopo essere passato ai nostri soffioni doccia in SiC personalizzati, che hanno superato in prestazioni i componenti della concorrenza nella lavorazione di wafer da 300 mm.

Oltre la produzione: un approccio basato sulla partnership

•Prototipazione rapida:Invia i tuoi file CAD e ricevi prototipi funzionali entro 7 giorni.
•Imballaggio in camera bianca in loco:Montaggio opzionale in camera bianca di Classe 10 per l'integrazione diretta degli utensili.
•Supporto tecnico a vita:I nostri ingegneri forniscono servizi di analisi dell'usura e di rilavorazione per prolungare i cicli di vita dei componenti.